초순수제조장치는 순수 시스템(전처리) 장치 서브시스템(후처리) 공정을 통해 만들어진다.후처리 공정에 추가적인 설비 UV, TOC, MDG, EDI, UF, 열교환기등의 설비를 추가 하여 요구하는 수질을 충족 시킬수 있다.
이온교환수지 원리
양이온교환수지는 물속에 있는 Ca2+, Mg2+, Na+의 양이온을 흡수하고 H+ 이온을 내놓으면 다음으로 음이온교환수지는 HCO3–, Cl–, SO42-, SiO2의 음이온은 흡수하고 OH– 이온을 내놓게 됩니다. 이렇게 만들어진 초순수 반도체, 제약, 화장품, 실험실, 도금 다양한 분야에서 사용됩니다.
